Установки

Вакуумные установки

Установки вакуумного напыления — это совокупность устройств, самостоятельно выполняющих определенные технологическим процессом функции.

Среди которых:

• откачка воздуха — создание необходимого разрежения;
• распыление, испарение материала, наносимого на деталь;
• транспортировка деталей, на которые происходит напыление металла;
• контроль режимов, при которых наносится вакуумное покрытие;
• электропитание и иные.

Установка монтируется из узлов, определяющих их функциональность:

• рабочей камеры, в которой осуществляется вакуумная металлизация или иной вид покрытия;
• источников испаряемых материалов (металлов), вкупе с энергообеспечивающими системами и управляющими устройствами;
• системы управления и контроля, которая обеспечивает толщину пленки, скорость напыления, температуру отжига и температуру поверхности детали, физические свойства пленок (набор датчиков, имеющих связь с микропроцессором, выполняющим управление исполнительными механизмами);
• газораспределительной и откачивающей системы, обеспечивающих создание вакуума, а также распределение газовых потоков (насосы, натекатели, ловушки, средства измерения);
• системы электропитания и блокировки рабочих узлов и устройств;
• транспортирующего устройства подачи-извлечения деталей в вакуумную камеру, предельно точно определяющее их размещение-перемещение по позициям в процессе многослойного нанесения пленок;
• системы дополнительных (вспомогательных) устройств, технологической оснастки, которая состоит из внутрикамерных манипуляторов, заслонок, пневмо- и гидроприводов, газовых фильтров и т. п.