Установки вакуумного напыления

Главная » Установки вакуумного напыления

Вакуумные установки

Установки вакуумного напыления — это совокупность устройств, самостоятельно выполняющих определенные технологическим процессом функции.

Вакуумные установки в Нижнем НовгородеСреди которых:

  • откачка воздуха — создание необходимого разрежения;
  • распыление, испарение материала, наносимого на деталь;
  • транспортировка деталей, на которые происходит напыление металла;
  • контроль режимов, при которых наносится вакуумное покрытие;
  • электропитание и иные.

 

Установка монтируется из узлов, определяющих их функциональность:

  • рабочей камеры, в которой осуществляется вакуумная металлизация или иной вид покрытия;
  • источников испаряемых материалов (металлов), вкупе с энергообеспечивающими системами и управляющими устройствами;
  • системы управления и контроля, которая обеспечивает толщину пленки, скорость напыления, температуру отжига и температуру поверхности детали, физические свойства пленок (набор датчиков, имеющих связь с микропроцессором, выполняющим управление исполнительными механизмами);
  • газораспределительной и откачивающей системы, обеспечивающих создание вакуума, а также распределение газовых потоков (насосы, натекатели, ловушки, средства измерения);
  • системы электропитания и блокировки рабочих узлов и устройств;
  • транспортирующего устройства подачи-извлечения деталей в вакуумную камеру, предельно точно определяющее их размещение-перемещение по позициям в процессе многослойного нанесения пленок;
  • системы дополнительных (вспомогательных) устройств, технологической оснастки, которая состоит из внутрикамерных манипуляторов, заслонок, пневмо- и гидроприводов, газовых фильтров и т. п.